ISO 14644(클린룸 및 관련된 제어 환경) 관련 각 Part별 내용을 간단하게 먼저 소개해 드립니다(ISO 14644-1은 ISO 14644의 Part 1을 의미합니다).

상세 내용은 각 Part별로 별도의 포스트를 통해 (저작권에 걸리지 않는 수준에서) 설명을 드리겠습니다.

DIS는 Draft International Standards를 줄인 말로, 아직 정식으로 발행된 게 아니라 초안 상태로 마련되어 추후 공인되어 기존의 규격을 대체하거나 신규로 규격으로 발행 예정인 것입니다.

참고로 아래 규격 중 DIS가 병기되지 않은 규격은 모두 한국산업규격(KS)이기도 합니다.

ISO 14644-1 공기 청정도 등급 분류(Classification of air cleanliness)

1999년 발행.

클린룸 및 관련된 제어 환경에서의 공기 청정도 등급 분류.

ISO 14644-2 ISO 14644-1의 지속적인 등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격(Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1)

2000년 발행.

클린룸 또는 청정 구역이 ISO 14644-1에서 정한 공기 중 입자의 청정도 등급을 만족하고 있는지 증명하기 위한 주기적인 시험 및 모니터링하기 위한 최소 필요 조건 기술.

ISO 14644-3 시험 방법(Test methods)

2005년 발행.

클린룸과 청정 구역의 지정된 공기 청정도 등급과 성능을 판별하는 시험 방법 규정.

ISO 14644-4 설계, 공사 및 조업 개시(Design, construction and start-up)

2001년 발행.

클린룸 설계와 공사에 대한 요구 조건 규정 및 조업 개시 및 자격에 대한 요구 조건을 포함하는 공사 지침 제공.

ISO 14644-5 작동(Operations)

2004년 발행.

클린룸 작업에 관한 기본적인 요구 조건 설명.

ISO 14644-6 용어(Vocabulary)

2007년 발행.

관련 용어와 정의 설명.

ISO 14644-7 분리 장치(클린 에어 후드, 글러브박스, 아이솔레이터 및 미니 환경)[Separative devices(clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)]

2004년 발행.

분리 장치의 디자인, 건설, 설치, 시험 및 승인까지의 최소 요구 조건 명시.

ISO 14644-8 공기 중 분자 오염 분류(Classification of airborne molecular contamination)

2006년 발행.

공기 중 분자 오염(AMC)의 등급을 분류하고 등급의 시방 범위 내에서 시험 방법, 분석 및 시간 가중 인자를 포함하는 규약 제공.

ISO 14644-9 부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류(Classification of surface cleanliness by particle concentration)

2012년 발행.

고체 표면의 입자 농도에 다른 표면 청정도(surface cleanliness by particle concentration, SCP) 분류.

ISO 14644-10 화학 농도별 표면 청정도 분류(Classification of surface cleanliness by chemical concentration)

2013년 발행.

고체 표면의 화학 농도에 따른 표면 청정도(surface cleanliness by chemical concentration, SCC) 분류.

ISO/DIS 14644-1.2 입자 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류(Classification of air cleanliness by particle concentration)

원하는 크기 범위의 공기 중 입자의 농도에 의해서만 이루어지는 클린룸 및 관련된 제어 환경에서의 공기 청정도 등급 분류(Covers the classification of air cleanliness in cleanrooms and associated controlled environments exclusively in terms of concentration of airborne particles of a designed size range)

ISO/DIS 14644-2.2 입자 농도에 따른 공기 청정도와 관련되는 클린룸 성능을 증명하기 위한 모니터링(Monitoring to provide cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentrations)

클린룸 또는 청정 구역이 ISO 14644-1에서 정한 공기 중 입자의 청정도 등급을 만족하고 있는지 증명하기 위한 주기적인 시험 및 모니터링하기 위한 최소 필요 조건 기술(Specifies requirements for monitoring and periodic testing of a cleanroom or clean zone to prove its continued compliance with ISO 14644-1).

ISO/DIS 14644-12 나노 크기 입자 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류(Classification of air cleanliness by nanoscale particle concentration)

공기 중 나노 크기 입자의 농도에 관련한 입자에 따른 공기 청정도 등급 분류(Covers the classification of air cleanliness by particles (ACP) in terms of concentration of airborne nanoscale particles).

ISO/DIS 14644-14 공기 중 입자 농도에 따른 장비 활용에 대한 적합성 평가(Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration)

클린룸 및 관련된 제어 환경에서 사용하는 장비의 적합성 평가를 위한 방법론 기술